Processos de Semicondutores – Gravura
Processos de Semicondutores – Gravura 1, classificação do processo de gravação: Existem dois tipos principais de processos de gravação na fabricação de semicondutores: gravação a seco e gravação a úmido. A gravação a seco é dividida em três: gravação de plasma, gravação por pulverização catódica por feixe de íons e gravação por íons reativos (RIE). Claro, a gravação também pode ser dividida em gravação gráfica e gravação gráfica. Gravura padronizada usando fotorresiste ou outros materiais como máscara, apenas a parte nua da gravação, while no patterned etching is carried out in the [...]