알루미나 반도체 세라믹 웨이퍼 로더 암

알루미나 반도체 세라믹 웨이퍼 로더 암

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99.8% 알루미나 반도체 세라믹 웨이퍼 로더 암

반도체의 주요 특징 세라믹 웨이퍼 로더 암
1. 조임 공차가 있는 고정밀 치수, 완벽한 피팅 관계를 얻는 것이 더 쉽습니다.
2. 고온 능력: 산화 및 환원 분위기에서 1650°C까지 견딜 수 있습니다.
3. 입다 & 내마모성: 알루미나는 내마모성이 뛰어난 초고경도 테크니컬 세라믹입니다.
4. 화학적 불활성, 대부분의 강산 및 알칼리에 강함, 그리고 영원히 녹슬지 않는다
5. 전기 절연: 절연 파괴는 최소 18KV까지입니다.
6. 우수한 기계적 특성, 경도, 압축 및 굴곡 강도는 훨씬 더 높은 스테인리스 강입니다.
7. 고온에서 내화학성, 강산이나 알칼리가 있어도
8. 오염 또는 불순물을 제거하기 위한 고온의 보호 분위기 또는 고진공.
9. 다른 기술 세라믹보다 높은 수준의 응용 분야에서 낮은 재료 비용

세라믹 부품 사양

재료 옵션알루미나(Al2O3), 지르코니아 (ZrO2), 탄화규소(SiO2), 질화규소(Si3N4)
성형 방법ISO 눌림, 드라이 프레스, 세라믹 사출 성형, 핫 프레스
사양OD는 다음과 같습니다. 1 50mm까지, 길이는 10mm에서 800mm일 수 있습니다.
정밀 가공CNC 가공, 정밀 연삭, 세련, 랩핑,
용인OD와 ID의 포용력은 0.001mm일 수 있습니다, 길이의 포용력은 0.001mm일 수 있습니다
주요 매개변수거칠기 0.02mm, 0.001mm인 평탄도, 0.001mm인 평행도
표면 품질균열 없음, 외부 오염, Ra0.1보다 나은 경면

알루미나 반도체 세라믹 웨이퍼 로더 암
고정밀 알루미나 세라믹 웨이퍼 로더 암에 대한 설명
반도체 장치용, 중요한 과정, 진공 상태에서 사용해야 하는 부품뿐만 아니라, 높은 온도, 부식성 가스 환경, 또한 깨끗하고 먼지가 없는 환경이 필요합니다.. 하지만, 정밀 세라믹 재료는 복잡한 물리적, 화학적 환경에서 높은 안정성을 유지할 수 있습니다.. 내마모성으로 생산한 반도체 세라믹 부품, 내식성, 질화규소는 열충격 저항성에서 다른 세라믹 재료를 능가합니다., 단열재는 99.8% 알루미나 세라믹 및 냉간 정수압 성형에 의해 형성, 고온 소결, 및 정밀 가공, 그렇기 때문에 반도체 장비 부품의 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있습니다..

알루미나 반도체 세라믹 웨이퍼 로더 암

주목:

CNC 가공을 통한 고정밀 세라믹 부품의 다양하고 복잡한 형상에 대한 능력을 보유하고 있습니다., 정밀 연삭, 정밀 드릴링, 등등.

기술 세라믹 데이터 시트

재산단위 재료
99.5%
알루미나
99%
알루미나
95%
알루미나
ZrO2
(Y-TZP)
ZrO2
(TTZ)
밀도g/cm3≥3.85≥3.80≥3.60≥5.95≥5.72
수분 흡수%00000
경도HV1700170015001300900
굴곡 강도음파≥379≥338≥320≥1200≥1200
압축 강도음파≥2240≥2240≥2000≥19901750
파괴 인성음파1/24-54-53-46.5-811
최대. 서비스
온도
ºC1675160014501000
1×10 -6 /ºC6.5~8.06.2~8.05.0~8.08.0~9.510.2
열충격NS(ºC)≥250≥200≥220≥300350
열 전도성(25ºC)W/m.k30292433
체적 저항옴.cm
25ºC>1 NS 10 14>1 NS 10 14>1 NS 10 14>1 NS 10 11>1 NS 10 11
300ºC1 NS 10 128 NS 10 1110 12 -10 131 NS 10 101 NS 10 10
500ºC5 NS 10 102 NS 10 91 NS 10 91 NS 10 61 NS 10 6
절연 강도KV/mm1918181720
유전 상수(1MHz)(이자형)9.79.59.52928

 

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