Robot de brazo de cerámica de alúmina de cerámica de semiconductores

Robot de brazo de cerámica de alúmina de cerámica de semiconductores

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Robot de brazo de cerámica de alúmina de cerámica de semiconductores

1.Composición del producto: 99% Bola de rodamiento de cerámica de circonio

2. Tamaño: tamaño personalizado

3. Toelrance : ±0,05 mm

4. Certificación: ISO 9001, SGS, CTI

nombre del producto
Robot de brazo de cerámica de alúmina de cerámica de semiconductores para el manejo de obleas
Material
cerámica de aluminio
Color
blanco
Tolerancia
±0,001 mm
Calificación
Primer grado
MOQ
1 piezas
Acabado de la superficie
Normal o Pulido
Composición
99% Bola de rodamiento de cerámica de circonio

 

Las principales características de la Cerámica Semiconductora Robot de brazo de cerámica de alúmina
1. Dimensiones de alta precisión con tolerancia de apriete, es más fácil obtener una relación de ajuste perfecto
2. Capacidad de alta temperatura: soportar hasta 1650 ° C en atmósferas oxidantes y reductoras
3. Vestir & resistencia a la abrasión: Varilla aislante de cerámica de alúmina mm
4. Inercia química, Varilla aislante de cerámica de alúmina mm, y no se oxida para siempre
5. Aislamiento electrico: La ruptura del aislamiento es de hasta 18 KV como mínimo.
6. Grandes propiedades mecánicas, dureza, La resistencia a la compresión y a la flexión son de acero inoxidable mucho más altas.
7. Resistencia a la corrosión química a altas temperaturas., incluso si con ácido fuerte o álcali
8. Varilla aislante de cerámica de alúmina mm.
9. Bajo costo de material en aplicaciones de alto nivel que otras cerámicas técnicas

La especificación de piezas de cerámica.

Opción de materialAlúmina(Al2O3), Circonita (ZrO2), Carburo de silicio(SiO2), Nitrido de silicona(Si3N4)
Métodos de formaciónISO presionado, Prensado en seco, Moldeo por inyección de cerámica, Prensado en caliente
EspecificaciónOD puede ser de 1 hasta 50 mm, la longitud puede ser de 10 mm a 800 mm
Procesamiento de precisiónMecanizado CNC, Rectificado de precisión, Pulido, Lapeado,
ToleranciaLa tolerancia de OD e ID puede ser de 0,001 mm., la tolerancia de longitud puede ser de 0,001 mm
Parámetros claveRugosidad de 0,02 mm, La planitud debe ser de 0,001 mm, El paralelismo debe ser 0,001 mm
Calidad de la superficieLibre de grietas, contaminación extranjera, superficie del espejo mejor que Ra0.1

Robot de brazo de cerámica de alúmina de cerámica de semiconductores

La descripción del brazo cargador de obleas de cerámica de alúmina de alta precisión
Para dispositivos semiconductores, el proceso critico, así como las piezas que necesitan ser utilizadas en un vacío, alta temperatura, y ambiente de gas corrosivo, también requieren un ambiente limpio y sin polvo. Sin embargo, El material cerámico de precisión podría mantener una alta estabilidad en un entorno físico y químico complicado.. Pieza de cerámica semiconductora que producimos con resistencia al desgaste., resistencia a la corrosión, baja expansión térmica, el aislamiento está hecho de 99.8% cerámica de alúmina y formada por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura, y mecanizado de precisión, es por eso que puede cumplir con los estrictos requisitos de las piezas para equipos semiconductores.

Robot de brazo de cerámica de alúmina de cerámica de semiconductores

Observación:

Tenemos la capacidad con una variedad de geometría complicada de piezas cerámicas de alta precisión a través de mecanizado CNC, rectificado de precisión, perforación de precisión, etcétera.

Ficha técnica de cerámica técnica

PropiedadUnidadesMaterial
99.5%
alúmina
99%
alúmina
95%
alúmina
ZrO2
(Y-TZP)
ZrO2
(TTZ)
Densidadg / cm3≥3,85≥3,80≥3,60≥5,95≥5,72
Absorción de agua%00000
DurezaHV1700170015001300900
Fuerza flexibleMpa≥379≥338≥320≥1200≥1200
Fuerza compresivaMpa≥2240≥2240≥2000≥19901750
Tenacidad a la fracturaMpa m1/24-54-53-46.5-811
Max. Servicio
temperatura
ºC1675160014501000
Redil1× 10 -6 /ºC6.5~ 8.06.2~ 8.05.0~ 8.08.0~ 9.510.2
Choque termalT(ºC)≥250≥200≥220≥300350
Conductividad térmica(25ºC)W / m.k30292433
Resistividad de volumenohm.cm
25ºC>1 X 10 14>1 X 10 14>1 X 10 14>1 X 10 11>1 X 10 11
300ºC1 X 10 128 X 10 1110 12 -10 131 X 10 101 X 10 10
500ºC5 X 10 102 X 10 91 X 10 91 X 10 61 X 10 6
Fuerza de aislamientoKV / mm1918181720
Constante dieléctrica(1Megahercio)(mi)9.79.59.52928

 

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