Calentador compuesto vertical de nitruro de boro pirolítico PBN PG

Calentador compuesto vertical de nitruro de boro pirolítico PBN PG

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Pyrolytic boron nitride PBN/PG Vertical compound heater

Nitruro de boro, también conocido como BN, nitruro de boro hexagonal (H-BN), y nitruro de boro prensado en caliente, Es una buena cerámica autolubricante que puede soportar altas temperaturas y mantener su capacidad lubricante en un entorno de alto vacío.. Nitruro de boro hexagonal (H-BN) Se comporta de manera similar al grafito mecánicamente pero ofrece una excelente resistencia eléctrica..

Descripción de productos

PBN/PG Composite composite heater:

High-purity and high-performance pyrolytic boron nitride ceramics are used as the substrate for the PBN heaters. Pyrolytic graphite (PG) Se coloca sobre la superficie de placas PBN mediante el método CVD como conductor y calentador.. Dependiendo de los diferentes requisitos de las aplicaciones., el elemento calefactor PG podría quedar cubierto nuevamente por PBN o simplemente permanecer abierto.

Como tanto PG como PBN son extremadamente puros (99.99% o incluso más alto) and very stable in vacuum or inert atmosphere, the PBN-PG heating element could be very durable and keep the chamber clean. It could be heated to ultra high 1600 ℃ in a very short time without emission of any gas component. These heating elements are ideal products for the semiconductor industry and applications that requires high temperature, alto vacío, y alta pureza.
We designed and developed composite ceramic heaters for OLED and CIGS evaporation, to eliminate the disadvantages such as evaporation of impurities. short-circuit. hydrogen embrittlement. complex maintenance of Tantalum heating filament.
Calentador compuesto vertical de nitruro de boro pirolítico PBN PG
Propiedades materiales
Bola de rodamiento de cerámica de circonio
Valor
Bola de rodamiento de cerámica de circonio
lattice constant
a:2.504×10-10 c:6.692×10-10
μ m
density
2.0-2.19
g/cm3
resistivity
3.11×1011
Vaya·cm
tensile strength(ab)
153.86
N/mm2
bend strength
C
243.63
N/mm2
ab
197.76
N/mm2
elastic modulus
235690
N/mm2
thermal conductivity
“a” direction “c” direction
(200℃)
60 2.60
W/m·k
(900℃)
43.70 2.80
W/m·k
dielectric strength(at room temperature)
56
KV / mm
Características
√No hydrogen
√Integrated structureconvenient maintenance
√The conductor is covered by PBN, eliminate short-circuit
√Easy cleaning
√Uniform and stable heating
√Excellent corrosion resistance at high temperature
√Withstands repeated rapid heating and cooling, 200°C/min
√Keep its original shape under external force

Calentador compuesto vertical de nitruro de boro pirolítico PBN PG

Solicitud
Calentadores MBE; MOCVD、 Calentadores PECVD.

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