Robô de braço cerâmico de alumina de cerâmica semicondutora

Descrição
Investigação

Robô de braço cerâmico de alumina de cerâmica semicondutora

1.Product Composition: 99% cerâmica de alumina

2. Tamanho: custom size

3. Toelrance : ±0.05mm

4. Certificação: ISO 9001, SGS, CTI

Nome do Produto	Semiconductor Ceramics Alumina Ceramic Arm Robot for Wafer Handling
Material	alumin aceramic
dissipadores de calor para sistemas de iluminação	branco
Tolerância	±0.001 mm
Avaliar	First Grade
MOQ	1 peças
Surface Finish	Regular or Polished
Composition	99% cerâmica de alumina

The main features of the Semiconductor Ceramics Alumina Ceramic Arm Robot
1. Dimensões de alta precisão com tolerância de aperto, é mais fácil obter uma relação de ajuste perfeito
2. Capacidade de alta temperatura: resistir a até 1650 ° C em atmosferas oxidantes e redutoras
3. Desgaste & resistência à abrasão: Alumina é uma cerâmica técnica extremamente dura com excelente resistência ao desgaste
4. Inércia química, resistente a maior parte do ácido e álcali fortes, e não enferruja para sempre
5. Isolamento elétrico: A quebra de isolamento é de pelo menos 18KV
6. Ótimas propriedades mecânicas, dureza, as resistências à compressão e flexão são muito maiores em aço inoxidável
7. Resistência à corrosão química sob alta temperatura, mesmo se com ácido ou álcali forte
8. Atmosferas protetoras ou alto vácuo em alta temperatura para eliminar contaminação ou impureza.
9. Baixo custo de material em aplicações de alto nível do que outras cerâmicas técnicas

A especificação das peças cerâmicas

Opção de material	Alumina(Al2O3), Zircônia (ZrO2), Carboneto de silício(SiO2), Nitreto de silício(Si3N4)
Métodos de formação	ISO pressionado, Prensado a seco, Moldagem por injeção de cerâmica, Prensado a quente
Especificação	OD pode ser de 1 a 50mm, comprimento pode ser de 10 mm a 800 mm
Processamento de precisão	Usinagem CNC, Moagem de precisão, Polimento, Lapidação,
Tolerância	A tolerância de OD e ID pode ser 0,001 mm, a tolerância de comprimento pode ser 0,001 mm
Parâmetros chave	Rugosidade de 0,02 mm, Nivelamento de 0,001 mm, O paralelismo deve ser 0,001 mm
Qualidade da superfície	Livre de fissuras, contaminação estrangeira, superfície do espelho melhor do que Ra0.1

Robô de braço cerâmico de alumina de cerâmica semicondutora

A descrição de braço carregador de wafer de cerâmica de alumina de alta precisão
Para dispositivos semicondutores, o processo crítico, bem como as peças que precisam ser usadas no vácuo, Disco de nitreto de alumínio cerâmico AlN condutor térmico, e ambiente de gás corrosivo, também exigem um ambiente limpo e sem poeira. No entanto, material cerâmico de precisão pode manter alta estabilidade em um ambiente físico e químico complicado. Peça cerâmica semicondutora que produzimos com resistência ao desgaste, resistência à corrosão, baixa expansão térmica, isolamento é feito de 99.8% cerâmica de alumina e formada por prensagem isostática a frio, sinterização de alta temperatura, e usinagem de precisão, é por isso que pode atender aos requisitos rigorosos de peças para equipamentos semicondutores.

Robô de braço cerâmico de alumina de cerâmica semicondutora

Observação:

Temos a capacidade com uma variedade de geometria complicada de peças de cerâmica de alta precisão por meio de usinagem CNC, moagem de precisão, perfuração de precisão, e assim por diante.

Folha de dados de cerâmicas técnicas

Propriedade	Unidades	Material
Propriedade	Unidades	99.5% alumina	99% alumina	95% alumina	ZrO2 (Y-TZP)	ZrO2 (TTZ)
Densidade	g / cm³	≥3,85	≥3,80	≥3,60	≥5,95	≥5,72
Absorção de água	%	0	0	0	0	0
Dureza	HV	1700	1700	1500	1300	900
Resistência à flexão	Mpa	≥379	≥338	≥320	≥1200	≥1200
Força compressiva	Mpa	≥2240	≥2240	≥2000	≥1990	1750
Resistência à fratura	Mpa m^1/2	4-5	4-5	3-4	6.5-8	11
Máx.. serviço temperatura	ºC	1675	1600	1450	1000
Côte	1× 10 ^-6/ºC	6.5~ 8.0	6.2~ 8.0	5.0~ 8.0	8.0~ 9,5	10.2
Choque térmico	T(ºC)	≥250	≥200	≥220	≥300	350
Condutividade térmica(25ºC)	W / m.k	30	29	24	3	3
Resistividade volumétrica	ohm.cm
25ºC		>1 x 10¹⁴	>1 x 10¹⁴	>1 x 10¹⁴	>1 x 10¹¹	>1 x 10¹¹
300ºC		1 x 10 ¹²	8 x 10¹¹	10¹² -10¹³	1 x 10 ¹⁰	1 x 10 ¹⁰
500ºC		5 x 10 ¹⁰	2 x 10⁹	1 x 10⁹	1 x 10⁶	1 x 10⁶
Força de isolamento	KV / mm	19	18	18	17	20
Constante dielétrica(1Mhz)	(E)	9.7	9.5	9.5	29	28

Robô de braço cerâmico de alumina de cerâmica semicondutora

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