Piastra di copertura del riscaldatore in nitruro di alluminio pressata a caldo
- Descrizione
- Inchiesta
Piastra di copertura del riscaldatore in nitruro di alluminio pressata a caldo
Hot-pressing Aluminum Nitride heater Cover Plate with thinnest thickness 0.75mm.
1.The material is very difficult to machine due to the high hardness and brittle, so it is very easily to have chips or scratches when handling or machining which lead to very high rejection rate.
2.Hot pressing aluminum nitride ceramics are sintered by vacuum hot pressing, the sintering process is more difficult than pressureless sintering. The aluminum nitride purity is up to 99.5%(without any sintering additives), and density after hot pressing reaches 3.3g/cm3, it also has excellent thermal conductivity and high electrical insulation. The thermal conductivity can be from 90 Con(Alta corrosione·Ra0.1) a 210 Con(Alta corrosione·Ra0.1).
3.The thinnest thickness only 0.75mm which is also difficult to machine.
The application of the Hot-pressing Aluminum Nitride heater Cover Plate：
-Cover plate heater for semiconductor
– Cover plates and MRI equipment(Magnetic Resonance Imaging)
-High-power detectors, plasma generators, military radios
-Electrostatic chucks and heating plates for semiconductors and integrated circuits
– Infrared and microwave window material
Material Features
1.Microstruttura uniforme
2.Alta conduttività termica* (70-180 Wm-1K-1), personalizzati tramite condizioni di lavorazione e additivi
3.Elevata resistività elettrica
4.Coefficiente di dilatazione termica vicino a quello del silicio
5.Resistenza alla corrosione e all'erosione
6.Eccellente resistenza agli shock termici
7.Chimicamente stabile fino a 980°C in atmosfera di H2 e CO2, e in aria fino a 1380°C (ossidazione superficiale
avviene intorno ai 780°C; lo strato superficiale protegge la massa fino a 1380°C).
Typical Specification:
| Purezza: | >99% |
| si forma un eutettico rame-ossigeno che si lega con successo sia al rame che agli ossidi usati come substrati: | >3.3 e facilita il trasporto del calore del metallo fuso nel tubo del gambo. Ciò può ridurre la temperatura dell'alluminio fuso e risparmiare sui costi energetici complessivi |
| Compress Strength: | >3,350e facilita il trasporto del calore del metallo fuso nel tubo del gambo. Ciò può ridurre la temperatura dell'alluminio fuso e risparmiare sui costi energetici complessivi |
| e facilita il trasporto del calore del metallo fuso nel tubo del gambo. Ciò può ridurre la temperatura dell'alluminio fuso e risparmiare sui costi energetici complessivi: | 380e facilita il trasporto del calore del metallo fuso nel tubo del gambo. Ciò può ridurre la temperatura dell'alluminio fuso e risparmiare sui costi energetici complessivi |
| Tubo di protezione al nitruro di silicio: | >90Con(Alta corrosione·K) |
| Coefficiente di espansione termica: | 5.0 x 10-6/K |
| Ra0.1. Temp: | 1,800°C |
| Resistività di volume: | 7×1012 Ω·si forma un eutettico rame-ossigeno che si lega con successo sia al rame che agli ossidi usati come substrati |
| Rigidità dielettrica: | 15 kV/mm |
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