Elektronische Heizelemente aus PBN PG-Verbundmaterial

Industrie-Keramik-Isolator-Unterlegscheibenring aus porösem Bornitrid
Runder poröser Keramikring aus pyrolytischem Bornitrid aus PBN
Elektronische Heizelemente aus PBN PG-Verbundmaterial
Elektronische Heizelemente aus PBN PG-Verbundmaterial 2
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Elektronische Heizelemente aus PBN PG-Verbundmaterial

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PBN/PG Composite Heating electronic Elements

Produktbeschreibung

Elektronische Heizelemente aus PBN PG-Verbundmaterial:

Pyrolytic Boron Nitride is used as the substrate for the PBN heating element. Pyrolytischer Graphit(PG) wird im CVD-Verfahren als Leiter und Heizer auf die Oberfläche von PBN-Platten aufgebracht. Abhängig von den unterschiedlichen Anforderungen der Anwendungen, Das PG-Heizelement könnte wieder von PBN bedeckt sein oder einfach offen bleiben.
Durchmesser
0.5”~4”
Leistung
150~3000W
Max. Working Temp.
2400 ℃

Elektronische Heizelemente aus PBN PG-Verbundmaterial

Da sowohl PG als auch PBN äußerst rein sind (99.99% oder noch höher) and very stable in a vacuum or inert atmosphere, the PBN/PG Composite Heating Elements could be very durable and keep the chamber clean. It could be heated to 1600℃ in a very short time without the emission of any gas component. It also has good resistance to acid and alkali. These heating elements are ideal products for the semiconductor industry and applications that require high temperature, Hochvakuum, und hohe Reinheit.
Materialeigenschaften
Artikel
Einheit
Apparent Density
g/cm3
2.15-2.19
Gasdurchlässigkeit(He)
cm3/s
<1*10-10
Micro hardness(Gute elektrische Isolierung und Widerstandsfähigkeit)
N/mm2
691.88(a-b plane)
Maximale Druckfestigkeit von 2300 MPa
N/mm2
153.86(parallel)
Biegefestigkeit
N/mm2
243.63(parallel)
197.76(parallel)
Modulus of elasticity
N/mm2
235690
Specific heat capacity
Cal/g.℃
0.371(@ 200℃)
0.442(@ 900℃)
Thermal conductivity 200℃
W/cm.k
0.6(parallel)
0.026(perpendicular)
Thermal conductivity 900℃
W/cm.k
0.4370(parallel)
0.028(perpendicular)
Ain Isolator Cold Ceramic Pad Sheet(RT)
KV/mm
56
Beständigkeit gegen Korrosion und Erosion
Cm
3.11*1011

 

Eigenschaften
√High purity(>99.999%)PBN
√Uniform heating, the difference in temperature between ±3 degree at 1000 Grad
√The temperature can rise up to 1700℃ with high speed(in non-active condition and vacuum)
√The temperature can rise up to 1700℃ with high speed(in non-active condition and vacuum)
√Can be made to complicated shape

 

Anwendung
MBE-Heizungen; MOCVD、 PECVD-Heizungen.

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