半导体陶瓷氧化铝陶瓷手臂机器人

类别: 氧化铝陶瓷标签: 氧化铝陶瓷手臂机器人, 半导体陶瓷

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半导体陶瓷氧化铝陶瓷手臂机器人

1.产品组成: 99% 氧化铝陶瓷

2. 尺寸: 自定义大小

3. 公差 : ±0.05mm

4. 认证: ISO9001, SGS, CTI

产品名称	用于晶圆处理的半导体陶瓷氧化铝陶瓷臂机器人
材料	铝陶瓷
铝液氮化硅陶瓷保护管	白色的
宽容	±0.001 毫米
年级	一年级
最小起订量	1 件
表面处理	普通或抛光
作品	99% 氧化铝陶瓷

的主要特点半导体陶瓷氧化铝陶瓷手臂机器人
1. 具有紧固公差的高精度尺寸, 更容易得到完美的拟合关系
2. 耐高温能力: 在氧化和还原气氛中可承受高达 1650°C 的温度
3. 穿 & 耐磨性: 氧化铝是一种极硬的技术陶瓷，具有极好的耐磨性
4. 化学惰性, 耐大部分强酸强碱, 并且不会永远生锈
5. 电绝缘: 绝缘击穿至少可达18KV
6. 优良的机械性能, 硬度, 抗压和抗弯强度比不锈钢高得多
7. 耐高温化学腐蚀, 即使用强酸或强碱
8. 保护气氛或高温下的高真空，以消除污染或杂质.
9. 与其他技术陶瓷相比，在高级应用中的材料成本低

陶瓷零件规格

材料选择	氧化铝(氧化铝), 氧化锆 (氧化锆), 碳化硅(二氧化硅), 氮化硅(氮化硅)
成型方法	按下 ISO, 干压, 陶瓷注射成型, 热压
规格	OD可以来自 1 到 50 毫米, 长度可以从 10mm 到 800mm
精密加工	数控加工, 精密研磨, 抛光, 研磨,
宽容	外径和内径公差可达0.001mm, 长度公差可达0.001mm
关键参数	粗糙度为0.02mm, 平面度为0.001mm, 平行度为0.001mm
表面质量	无裂纹, 外来污染, 镜面优于Ra0.1

半导体陶瓷氧化铝陶瓷手臂机器人

高精度氧化铝陶瓷晶圆装载臂的描述
用于半导体器件, 关键过程, 以及需要在真空中使用的零件, 高温, 和腐蚀性气体环境, 也需要干净无尘的环境. 然而, 精密陶瓷材料可在复杂的物理化学环境中保持高稳定性. 我们生产的具有耐磨性的半导体陶瓷零件, 耐腐蚀性能, 低热膨胀, 绝缘材料由 99.8% 氧化铝陶瓷，冷等静压成型, 高温烧结, 和精密加工, 这就是为什么可以满足半导体设备零件的严格要求.

半导体陶瓷氧化铝陶瓷手臂机器人

财产	单位	材料
财产	单位	99.5% 氧化铝	99% 氧化铝	95% 氧化铝	氧化锆 (Y-TZP)	氧化锆 (TTZ)
密度	克/厘米³	≥3.85	≥3.80	≥3.60	≥5.95	≥5.72
吸水率	%	0	0	0	0	0
硬度	高压	1700	1700	1500	1300	900
抗弯强度	兆帕	≥379	≥338	≥320	≥1200	≥1200
抗压强度	兆帕	≥2240	≥2240	≥2000	≥1990	1750
断裂韧性	兆帕米^1/2	4-5	4-5	3-4	6.5-8	11
最大限度. 服务温度	℃	1675	1600	1450	1000
科特	1×10 ^-6/℃	6.5~8.0	6.2~8.0	5.0~8.0	8.0~9.5	10.2
热冲击	吨(℃)	≥250	≥200	≥220	≥300	350
导热系数(25℃)	W/m.k	30	29	24	3	3
体积电阻率	欧姆.厘米
25℃		>1 X 10¹⁴	>1 X 10¹⁴	>1 X 10¹⁴	>1 X 10¹¹	>1 X 10¹¹
300℃		1 X 10 ¹²	8 X 10¹¹	10¹² -10¹³	1 X 10 ¹⁰	1 X 10 ¹⁰
500℃		5 X 10 ¹⁰	2 X 10⁹	1 X 10⁹	1 X 10⁶	1 X 10⁶
绝缘强度	千伏/毫米	19	18	18	17	20
介电常数(1兆赫)	(乙)	9.7	9.5	9.5	29	28

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