Robot à bras en céramique d'alumine en céramique semi-conductrice
- La description
- Demande
Robot à bras en céramique d'alumine en céramique semi-conductrice
1.Product Composition: 99% céramique d'alumine
2. Taille: custom size
3. Toelrance : ±0.05mm
4. Tube: Tube, SGS, CTI
Nom du produit | Semiconductor Ceramics Alumina Ceramic Arm Robot for Wafer Handling |
Matériel | alumin aceramic |
Couleur | blanche |
Tolérance | ±0.001 mm |
Noter | First Grade |
MOQ | 1 pièces |
Surface Finish | Regular or Polished |
Composition | 99% céramique d'alumine |
The main features of the Semiconductor Ceramics Robot à bras en céramique d'alumine
1. Usinage-Alumine-Céramique-Pièces, il est plus facile d'obtenir une relation d'ajustement parfaite
2. Usinage-Alumine-Céramique-Pièces: Usinage-Alumine-Céramique-Pièces
3. Usinage-Alumine-Céramique-Pièces & Usinage-Alumine-Céramique-Pièces: Tube en céramique d'alumine pour capteurs automobiles
4. Usinage-Alumine-Céramique-Pièces, Tube en céramique d'alumine pour capteurs automobiles, Usinage-Alumine-Céramique-Pièces
5. Isolation électrique: Usinage-Alumine-Céramique-Pièces
6. Excellentes propriétés mécaniques, dureté, la résistance à la compression et à la flexion est beaucoup plus élevée en acier inoxydable
7. Résistance à la corrosion chimique sous haute température, Usinage-Alumine-Céramique-Pièces
8. Tube en céramique d'alumine pour capteurs automobiles.
9. Usinage-Alumine-Céramique-Pièces
La spécification des pièces en céramique
| Choix matériel | Alumine(Al2O3), Zircone (ZrO2), Carbure de silicium(SiO2), Nitrure de silicium(Si3N4) |
| Méthodes de formage | ISO pressé, Pressé à sec, Moulage par injection de céramique, Pressé à chaud |
| spécification | OD peut être de 1 à 50mm, la longueur peut être de 10 mm à 800 mm |
| Traitement de précision | Usinage CNC, Meulage de précision, Polissage, Clapotis, |
| Tolérance | La tolérance de l'OD et de l'ID peut être de 0,001 mm, la tolérance de longueur peut être de 0,001 mm |
| Paramètres clés | La rugosité doit être de 0,02 mm, Usinage-Alumine-Céramique-Pièces, Le parallélisme doit être de 0,001 mm |
| Qualité de surface | Sans fissures, contamination étrangère, surface du miroir meilleure que Ra0.1 |
Robot à bras en céramique d'alumine en céramique semi-conductrice
La description du bras de chargeur de plaquettes en céramique d'alumine de haute précision
Pour les dispositifs semi-conducteurs, le processus critique, ainsi que les pièces qui doivent être utilisées sous vide, haute température, et environnement gazeux corrosif, nécessitent également un environnement propre et sans poussière. Cependant, un matériau céramique de précision pourrait maintenir une stabilité élevée dans un environnement physique et chimique compliqué. Pièce en céramique semi-conductrice que nous avons produite avec une résistance à l'usure, résistance à la corrosion, faible dilatation thermique, l'isolation est faite de 99.8% céramique d'alumine et formée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température, et usinage de précision, c'est pourquoi peut répondre aux exigences strictes des pièces pour les équipements semi-conducteurs.
Robot à bras en céramique d'alumine en céramique semi-conductrice
Remarque:
Nous avons la capacité avec une variété de géométries compliquées de pièces en céramique de haute précision via l'usinage CNC, meulage de précision, perçage de précision, etc.
Fiche technique des Céramiques techniques
| Propriété | Unités | Matériel | ||||
| 99.5% alumine | 99% alumine | 95% alumine | ZrO2 (Y-TZP) | ZrO2 (TTZ) | ||
| Densité | g/cm3 | ≥3.85 | ≥3.80 | ≥3.60 | ≥5.95 | ≥5.72 |
| Absorption de l'eau | % | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Dureté | HT | 1700 | 1700 | 1500 | 1300 | 900 |
| Résistance à la flexion | MPa | ≥379 | ≥338 | 320 | ≥1200 | ≥1200 |
| Résistance à la compression | MPa | ≥2240 | ≥2240 | 2000 | 1990 | 1750 |
| Ténacité à la rupture | Mpa m1/2 | 4-5 | 4-5 | 3-4 | 6.5-8 | 11 |
| Max. un service Température | °C | 1675 | 1600 | 1450 | 1000 | |
| Côte | 1×10 -6 /°C | 6.5~8.0 | 6.2~8.0 | 5.0~8.0 | 8.0~9.5 | 10.2 |
| Choc thermique | T(°C) | 250 | 200 | ≥220 | 300 | 350 |
| Conductivité thermique(25°C) | W/m.k | 30 | 29 | 24 | 3 | 3 |
| Résistivité volumique | ohm.cm | |||||
| 25°C | >1 X 10 14 | >1 X 10 14 | >1 X 10 14 | >1 X 10 11 | >1 X 10 11 | |
| 300°C | 1 X 10 12 | 8 X 10 11 | 10 12 -10 13 | 1 X 10 10 | 1 X 10 10 | |
| 500°C | 5 X 10 10 | 2 X 10 9 | 1 X 10 9 | 1 X 10 6 | 1 X 10 6 | |
| Force d'isolation | kilovolts/mm | 19 | 18 | 18 | 17 | 20 |
| Constante diélectrique(1Mhz) | (E) | 9.7 | 9.5 | 9.5 | 29 | 28 |
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