ذراع تحميل الويفر الخزفي المصنوع من الألومينا وأشباه الموصلات

ذراع تحميل الويفر الخزفي المصنوع من الألومينا وأشباه الموصلات

  • وصف
  • سؤال

99.8% ذراع تحميل الويفر الخزفي المصنوع من الألومينا وأشباه الموصلات

The main features of the semiconductor ceramic wafer loader arm
1. أبعاد عالية الدقة مع إحكام التسامح, it’s easier to get a perfect fitting relation
2. القدرة على ارتفاع درجة الحرارة: تتحمل ما يصل إلى 1650 درجة مئوية في أجواء مؤكسدة ومقلصة
3. يرتدي & مقاومة التآكل: الألومينا عبارة عن سيراميك تقني شديد الصلابة مع مقاومة فائقة للتآكل
4. الخمول الكيميائي, مقاومة معظم الأحماض القوية والقلوية, ولا تصدأ إلى الأبد
5. عزل كهربي: انهيار العزل يصل إلى 18KV على الأقل
6. خصائص ميكانيكية رائعة, صلابة, قوة الانضغاط والانحناء من الفولاذ المقاوم للصدأ أعلى بكثير
7. مقاومة التآكل الكيميائي تحت درجات الحرارة العالية, حتى لو مع حمض قوي أو قلوي
8. أجواء واقية أو تفريغ عالي عند درجة حرارة عالية لإزالة التلوث أو الشوائب.
9. تكلفة مواد منخفضة في التطبيقات عالية المستوى مقارنة بالسيراميك التقني الآخر

مواصفات قطع السيراميك

خيار الموادالألومينا(Al2O3), زركونيا (ZrO2), كربيد السيليكون(SiO2), نيتريد السيليكون(Si3N4)
طرق التشكيلضغط ISO, ضغط جاف, صب حقن السيراميك, ضغط ساخن
هذه المشعلات لديها منطقة تشغيل كبيرة تصل إلىيمكن أن يكون OD من 1 إلى 50 ملم, يمكن أن يكون الطول من 10 مم إلى 800 مم
معالجة دقيقةالتصنيع باستخدام الحاسب الآلي, طحن دقيق, تلميع, اللف,
تسامحيمكن أن يكون التسامح مع OD و ID 0.001 مم, يمكن أن يكون تحمل الطول 0.001 مم
المعلمات الرئيسيةخشونة أن تكون 0.02 مم, التسطيح ليكون 0.001 مم, أن يكون التوازي 0.001 مم
جودة السطحخالية من الشقوق, التلوث الأجنبي, سطح المرآة أفضل من Ra0.1

ذراع تحميل الويفر الخزفي المصنوع من الألومينا وأشباه الموصلات
The description of high precision alumina ceramic wafer loader arm
For semiconductor devices, the critical process, as well as the parts which need to be used in a vacuum, درجة حرارة عالية, and corrosive gas environment, also require a clean and dustless environment. However, precision ceramic material could maintain high stability in a complicated physical and chemical environment. Semiconductor ceramic part we produced with wear resistance, المقاومة للتآكل, تمدد حراري منخفض, insulation is made from 99.8% alumina ceramic and formed by cold isostatic pressing, high-temperature sintering, and precision machining, that’s why can meet the stringent requirements of parts for semiconductor equipment.

ذراع تحميل الويفر الخزفي المصنوع من الألومينا وأشباه الموصلات

ملاحظة:

We have the capability with a variety of complicated geometry of high precision ceramic parts via CNC machining, طحن دقيق, precision drilling, وهلم جرا.

ورقة بيانات الخزف الفني

ملكيةالوحدات مادة
99.5%
الألومينا
99%
الألومينا
95%
الألومينا
ZrO2
(ص- TZP)
ZrO2
(TTZ)
كثافةز / سم3≥3.85≥3.80≥3.60≥5.95≥5.72
أمتصاص الماء%00000
صلابةHV1700170015001300900
قوة العاطفةالآلام والكروب الذهنية≥379≥338≥320≥ 1200≥ 1200
قوة الضغطالآلام والكروب الذهنية≥2240≥2240≥ 2000≥19901750
كسر صلابةمبا م1/24-54-53-46.5-811
الأعلى. الخدمات
درجة الحرارة
ج1675160014501000
كوت1× 10 -6 6.5~ 8.06.2~ 8.05.0~ 8.08.0~ 9.510.2
صدمة حراريةتي(ج)≥ 250≥200≥220≥300350
توصيل حراري(25ج)ث / عضو الكنيست30292433
حجم المقاومةأوم.سم
25ج>1 x 10 14>1 x 10 14>1 x 10 14>1 x 10 11>1 x 10 11
300ج1 x 10 128 x 10 1110 12 -10 131 x 10 101 x 10 10
500ج5 x 10 102 x 10 91 x 10 91 x 10 61 x 10 6
قوة العزلKV / مم1918181720
ثابت العزل الكهربائي(1ميجاهيرتز)(ه)9.79.59.52928

 

اتصل بنا